收藏！2021年度中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全景圖剖析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-12-22 16:58
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2.光刻機

光刻機作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心裝備，有人稱它為“人類最精密復(fù)雜的機器”，同時也被稱為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠。光刻的主要作用是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上，是芯片制造的核心環(huán)節(jié)。光刻工藝定義了半導(dǎo)體器件的尺寸，光刻的工藝水平直接決定芯片的制程和性能水平。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

（1）光刻機分類

光刻機按照有無掩?？煞譃橛醒谀９饪虣C和無掩模光刻機。這兩類光刻機分別有不同的種類：無掩模光刻機分為電子束直寫光刻機、激光直寫光刻機、離子束直寫光刻機，有掩模光刻機分為接近/接觸式光刻機以及投影光刻機。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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