收藏！2021年度中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全景圖剖析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-12-22 16:58
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4.靶材

靶材主要由靶坯、背板或背管等部分構(gòu)成，其中，靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料，屬于濺射靶材的核心部分，在濺射鍍膜過程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成薄膜材料，濺射鍍膜是靶材整個產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)要求最高的環(huán)節(jié)。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

（1）靶材市場規(guī)模

按使用的原材料材質(zhì)不同，濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材等。2016-2020年我國濺射靶材市場規(guī)模將從177億元升至337億元，年均復(fù)合增長率為17.46%，中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)計2022年中國濺射靶材市場規(guī)模將達(dá)396億元。

數(shù)據(jù)來源：江豐電子、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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