4.電子氣體
電子特氣是指在半導體芯片制備過程中需要使用到的各種特種氣體,按照氣體的化學成分可以分為通用氣體和特種氣體。其中電子特種氣體又可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、蝕刻用氣、化學汽相沉淀用氣、載運和稀釋氣體等幾大類,種類繁多,在半導體工業(yè)中應用的有110余種電子氣體,常用的有20-30種。
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
5.濕電子化學品
濕電子化學品,也通常被稱為超凈高純試劑,是指用在半導體制造過程中的各種高純化學試劑。為滿足半導體集成電路的發(fā)展水平,濕電子化學品的技術(shù)實現(xiàn)了G1到G4級不同等級的商業(yè)化生產(chǎn),并向更高技術(shù)等級的產(chǎn)品進步。全球濕電子化學品市份額為歐美、日韓等海外企業(yè)主導,歐美、日本、韓國企業(yè)市場份額分別約為35%、28%、16%。半導體濕電子化學品領(lǐng)域整體國產(chǎn)化率約23%。
數(shù)據(jù)來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理