2024年中國光刻機行業(yè)市場前景預測研究報告（簡版）
來源：中商產業(yè)研究院 發(fā)布日期：2024-11-12 15:39
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2、芯碁微裝

芯碁微裝從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發(fā)、制造、銷售以及相應的維保服務。芯碁微裝在直寫光刻設備領域推出了多個產品系列，如MAS系列、RTR系列、NEX系列、FAST系列、DILINE系列等，不斷進行性能升級與下游應用的拓展。芯碁微裝在直寫光刻設備領域擁有關鍵核心技術，其直寫光刻設備可應用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件、IC掩膜版制造、先進封裝、顯示光刻等環(huán)節(jié)。

2023年芯碁微裝營業(yè)收入達到8.29億元，同比增長27.07%，歸母凈利潤高達1.79億元，同比增長31.28%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

PCB設備領域，芯碁微裝在2023年實現5.9億元營收，占比總營收71.16%，逆勢增長11.94%，毛利率為35.38%。泛半導體業(yè)務方面，芯碁微裝同樣表現出色，營收達到1.88億元，占比總營收的22.71%，同比大幅增長96.91%，毛利率則為57.62%。

數據來源：中商產業(yè)研究院整理

3、華卓精科

華卓精科主營業(yè)務為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品的研發(fā)、生產以及銷售和技術服務。公司在光刻機雙工件臺技術方面取得了重要突破，并成功研制出國產光刻機雙工作臺系統(tǒng)，打破了國外在這一領域的技術壟斷。

華卓精科的光刻機雙工件臺是其核心產品之一，具有高速運動、高精度定位和高穩(wěn)定性等特點。公司推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，分別適用于干式步進式掃描光刻機和浸沒式光刻機。

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