中商情報網(wǎng)訊:涂膠顯影設(shè)備是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、烘烤及顯影設(shè)備,包括涂膠機、噴膠機和顯影機。根據(jù)使用方式不同可分為單獨使用(Off Line)和聯(lián)機作業(yè)(In Line)。
市場規(guī)模
涂膠/顯影機作為光刻機的輸入(曝光前光刻膠涂覆)和輸出(曝光后圖形的顯影)設(shè)備,主要通過機械手使晶圓在各系統(tǒng)之間傳輸和處理,從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅膜等工藝過程,是集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵處理設(shè)備。中國大區(qū)(含中國臺灣地區(qū))前道涂膠顯影設(shè)備市場規(guī)模預(yù)計由 2016 年的 8.57 億美元增長至2023 年的10.26 億美元,年均復(fù)合增長率有望達 7.78%。
數(shù)據(jù)來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
競爭格局
TEL 在中國大陸的市占率高達91%,其次為 Screen(迪恩士),占比接近 5%,中國芯源微涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)化率僅為4%。
數(shù)據(jù)來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
更多資料請參考中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資機會研究報告》,同時中商產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)情報、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、園區(qū)規(guī)劃、十四五規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)招商引資等服務(wù)。