中商情報(bào)網(wǎng)訊:刻蝕制程位于薄膜沉積和光刻之后,目的是利用化學(xué)反應(yīng)、物理反應(yīng)、光學(xué)反應(yīng)等方式將晶圓表面附著的不必要的物質(zhì)去除,過(guò)程反復(fù)多遍,最終得到構(gòu)造復(fù)雜的集成電路。按照刻蝕的工藝不同可以分為干法刻蝕和濕法刻蝕。
市場(chǎng)規(guī)模
全球刻蝕設(shè)備領(lǐng)域中,硅基刻蝕主要被 Lam 和 AMAT 壟斷,介質(zhì)刻蝕主要被TEL和Lam壟斷。2020年全球刻蝕設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為136億美元,同比增長(zhǎng)23.64%。預(yù)計(jì)2022年將進(jìn)一步增長(zhǎng)至184億美元。
數(shù)據(jù)來(lái)源:Gartner、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
市場(chǎng)結(jié)構(gòu)
2020年介質(zhì)刻蝕設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約 60 億美元,占整體市場(chǎng)的56%;導(dǎo)體刻蝕設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約 76 億美元,占整體市場(chǎng)的44%。
數(shù)據(jù)來(lái)源:Gartner、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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