中商情報(bào)網(wǎng)訊:近年來,隨著大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的快速發(fā)展,光刻膠作為微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,也迎來了高速發(fā)展。隨著中國企業(yè)在半導(dǎo)體光刻膠關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域取得突破,以及中國半導(dǎo)體產(chǎn)能快速擴(kuò)展和供應(yīng)鏈自主可控需求帶來的發(fā)展機(jī)遇,國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠發(fā)展。
一、光刻膠定義
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。經(jīng)過幾十年不斷的發(fā)展和進(jìn)步,光刻膠的應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大,衍生出非常多的種類,根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、平板顯示光刻膠和PCB光刻膠,其技術(shù)壁壘依次降低,具體如下圖所示:
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理