2.1　2019-2021年全球電子特氣發(fā)展現(xiàn)狀
2.1.1　市場(chǎng)發(fā)展規(guī)模
2.1.2　市場(chǎng)份額分布
2.1.3　企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局
2.1.4　企業(yè)營收情況
2.1.5　產(chǎn)業(yè)鏈條布局
2.1.6　應(yīng)用領(lǐng)域分布
2.1.7　產(chǎn)品技術(shù)分析
2.2　2019-2021年美國電子特氣發(fā)展分析
2.2.1　市場(chǎng)相關(guān)政策
2.2.2　市場(chǎng)主體介紹
2.2.3　企業(yè)布局動(dòng)態(tài)
2.2.4　市場(chǎng)發(fā)展困境
2.3　2019-2021年日本電子特氣發(fā)展分析
2.3.1　市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀
2.3.2　市場(chǎng)需求分析
2.3.3　市場(chǎng)主體介紹
2.3.4　企業(yè)營收情況
2.3.5　企業(yè)布局動(dòng)態(tài)
2.3.6　出口管制施行
2.4　全球電子特氣企業(yè)發(fā)展路徑及經(jīng)驗(yàn)借鑒
2.4.1　設(shè)備制造+氣體服務(wù)齊頭并進(jìn)
2.4.2　通過收購快速開拓國際市場(chǎng)
2.4.3　通過技術(shù)創(chuàng)新豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

3.1　經(jīng)濟(jì)環(huán)境
3.1.1　宏觀經(jīng)濟(jì)概況
3.1.2　工業(yè)運(yùn)行情況
3.1.3　固定資產(chǎn)投資
3.1.4　宏觀經(jīng)濟(jì)展望
3.2　政策環(huán)境
3.2.1　行業(yè)主管部門
3.2.2　行業(yè)相關(guān)政策
3.2.3　行業(yè)支持政策
3.2.4　行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)匯總
3.2.5　細(xì)分品類標(biāo)準(zhǔn)
3.2.6　區(qū)域政策動(dòng)態(tài)
3.3　行業(yè)環(huán)境
3.3.1　工業(yè)氣體基本概述
3.3.2　工業(yè)氣體發(fā)展特點(diǎn)
3.3.3　工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模
3.3.4　工業(yè)氣體區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)
3.3.5　工業(yè)氣體競(jìng)爭(zhēng)梯隊(duì)
3.3.6　工業(yè)氣體企業(yè)份額
3.3.7　工業(yè)氣體產(chǎn)品布局
3.3.8　工業(yè)氣體發(fā)展趨勢(shì)

4.1　中國電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析
4.1.1　產(chǎn)業(yè)鏈條分析
4.1.2　上游供應(yīng)情況
4.1.3　下游應(yīng)用結(jié)構(gòu)
4.1.4　產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)布局
4.2　2019-2021年中國電子特氣市場(chǎng)發(fā)展?fàn)顩r
4.2.1　行業(yè)發(fā)展歷程
4.2.2　市場(chǎng)發(fā)展地位
4.2.3　市場(chǎng)發(fā)展態(tài)勢(shì)
4.2.4　市場(chǎng)發(fā)展規(guī)模
4.2.5　市場(chǎng)供應(yīng)模式
4.2.6　波特五力模型
4.3　2019-2021年中國電子特氣企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)情況
4.3.1　企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
4.3.2　企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局
4.3.3　主要企業(yè)介紹
4.3.4　企業(yè)產(chǎn)品布局
4.3.5　企業(yè)營收情況
4.3.6　市場(chǎng)地位對(duì)比
4.4　中國電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r分析
4.4.1　電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展需求
4.4.2　電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展意義
4.4.3　典型電子特氣企業(yè)研發(fā)成果
4.4.4　高純含氟電子氣體國產(chǎn)化成功
4.4.5　高純氮?dú)狻翱ú弊印奔夹g(shù)取得突破
4.5　中國電子特氣行業(yè)發(fā)展問題及建議
4.5.1　行業(yè)起步較晚
4.5.2　行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)加劇
4.5.3　國際貿(mào)易摩擦
4.5.4　技術(shù)存在短板
4.5.5　行業(yè)發(fā)展建議

5.1　清洗、蝕刻工藝特氣
5.1.1　三氟化氮（NF3）
5.1.2　四氟化碳（CF4）
5.1.3　六氟化硫（SF6）
5.1.4　六氟乙烷（C2F6）
5.1.5　八氟丙烷（C3F8）
5.1.6　八氟環(huán)丁烷（C4F8）
5.2　氧化/沉積工藝特氣
5.2.1　六氟化鎢（WF6）
5.2.2　氧化亞氮（N2O）
5.2.3　氨氣（NH3）
5.2.4　硅烷（SiH4）
5.2.5　鍺烷（GeH4）
5.3　氧化/沉積、離子注入、外延工藝特氣
5.3.1　磷烷（PH3）
5.3.2　砷烷（AsH3）
5.3.3　乙硼烷（B2H6）
5.4　其他電子特氣
5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2　羰基硫（COS）
5.4.3　三氟化硼（BF3）
5.4.4　硒化氫（SeH2）

6.1　半導(dǎo)體行業(yè)
6.1.1　半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展綜述
6.1.2　半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化
6.1.3　電子特氣制程介紹
6.1.4　電子特氣應(yīng)用情況
6.1.5　電子特氣應(yīng)用規(guī)模
6.1.6　電子特氣應(yīng)用需求
6.1.7　電子特氣應(yīng)用前景
6.2　LED行業(yè)
6.2.1　LED行業(yè)發(fā)展綜述
6.2.2　電子特氣應(yīng)用情況
6.2.3　電子特氣應(yīng)用前景
6.3　LCD行業(yè)
6.3.1　LCD行業(yè)發(fā)展綜述
6.3.2　電子特氣制程介紹
6.3.3　電子特氣應(yīng)用現(xiàn)狀
6.3.4　電子特氣具體應(yīng)用
6.3.5　電子特氣應(yīng)用前景
6.4　太陽能電池行業(yè)
6.4.1　太陽能電池發(fā)展概述
6.4.2　電子特氣制程介紹
6.4.3　電子特氣應(yīng)用情況
6.4.4　電子特氣應(yīng)用規(guī)模

7.1　美國空氣化工產(chǎn)品
7.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.1.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.1.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.1.4　企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新
7.1.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.1.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.1.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2　林德集團(tuán)
7.2.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.2.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.2.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.2.4　企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新
7.2.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3　法國液空集團(tuán)
7.3.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.3.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.3.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.3.4　工業(yè)網(wǎng)路組織
7.3.5　企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略
7.3.6　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3.7　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3.8　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4　日本酸素公司
7.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.4.2　企業(yè)功能擴(kuò)展
7.4.3　企業(yè)基礎(chǔ)技術(shù)
7.4.4　企業(yè)銷售情況
7.4.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5　日本昭和電工株式會(huì)社
7.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.5.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.5.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.5.4　企業(yè)項(xiàng)目動(dòng)態(tài)
7.5.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.6　其他企業(yè)
7.6.1　太陽日酸
7.6.2　關(guān)東電化
7.6.3　艾迪科

8.1　廣東華特氣體股份有限公司
8.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.1.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.1.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.1.4　特氣營收情況
8.1.5　企業(yè)業(yè)務(wù)模式
8.1.6　企業(yè)業(yè)務(wù)布局
8.1.7　企業(yè)技術(shù)發(fā)展
8.1.8　企業(yè)項(xiàng)目布局
8.2　蘇州金宏氣體股份有限公司
8.2.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.2.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.2.3　企業(yè)工藝介紹
8.2.4　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.2.5　特氣營收情況
8.2.6　企業(yè)產(chǎn)能規(guī)模
8.2.7　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.2.8　企業(yè)技術(shù)發(fā)展
8.3　江蘇雅克科技股份有限公司
8.3.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.3.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.3.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.3.4　電子特氣營收
8.3.5　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.3.6　細(xì)分產(chǎn)品介紹
8.3.7　企業(yè)項(xiàng)目動(dòng)態(tài)
8.4　江蘇南大光電材料股份有限公司
8.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.4.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.4.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.4.4　特氣營收情況
8.4.5　特氣布局分析
8.4.6　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.4.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.5　昊華化工科技集團(tuán)股份有限公司
8.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.5.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.5.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.5.4　特氣營收情況
8.5.5　企業(yè)產(chǎn)能規(guī)模
8.5.6　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.5.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.6　湖南凱美特氣體股份有限公司
8.6.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.6.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.6.3　企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
8.6.4　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.6.5　氣體營收分布
8.6.6　產(chǎn)品銷售情況
8.6.7　特氣布局分析
8.6.8　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.6.9　企業(yè)研發(fā)投入
8.6.10　企業(yè)項(xiàng)目動(dòng)態(tài)
8.7　湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
8.7.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.7.2　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.7.3　電子特氣營收
8.7.4　電子特氣供應(yīng)
8.7.5　企業(yè)研發(fā)投入
8.7.6　企業(yè)項(xiàng)目動(dòng)態(tài)
8.8　其他企業(yè)
8.8.1　杭氧股份
8.8.2　巨化股份
8.8.3　正帆科技
8.8.4　派瑞特氣
8.8.5　博純材料
8.8.6　綠菱公司
8.8.7　硅烷科技
8.8.8　同輝氣體
8.8.9　太和氣體

9.1　2019-2021年中國電子特氣行業(yè)投融資狀況
9.1.1　行業(yè)投資現(xiàn)狀
9.1.2　企業(yè)融資動(dòng)態(tài)
9.1.3　企業(yè)戰(zhàn)略合作
9.1.4　項(xiàng)目投資布局
9.1.5　行業(yè)投資機(jī)遇
9.2　中國電子特氣行業(yè)投資進(jìn)入壁壘
9.2.1　技術(shù)壁壘
9.2.2　客戶壁壘
9.2.3　服務(wù)壁壘
9.2.4　資金壁壘
9.2.5　資質(zhì)壁壘
9.3　中國電子特氣行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)及策略
9.3.1　行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)
9.3.2　行業(yè)投資策略
9.3.3　項(xiàng)目投資建議

10.1　雅克科技半導(dǎo)體用電子級(jí)四氟化碳生產(chǎn)線技改項(xiàng)目
10.1.1　項(xiàng)目基本情況
10.1.2　項(xiàng)目投資價(jià)值
10.1.3　項(xiàng)目投資優(yōu)勢(shì)
10.1.4　項(xiàng)目實(shí)施主體
10.1.5　項(xiàng)目建設(shè)周期
10.1.6　項(xiàng)目投資概算
10.1.7　項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益
10.2　南大光電三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目
10.2.1　項(xiàng)目基本情況
10.2.2　項(xiàng)目投資內(nèi)容
10.2.3　項(xiàng)目投資價(jià)值
10.2.4　項(xiàng)目建設(shè)周期
10.2.5　項(xiàng)目投資概算
10.2.6　產(chǎn)能消化空間
10.2.7　項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益
10.2.8　項(xiàng)目備案進(jìn)展
10.3　正帆科技?xì)怏w擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目
10.3.1　項(xiàng)目基本情況
10.3.2　項(xiàng)目投資可行性
10.3.3　項(xiàng)目建設(shè)主體
10.3.4　項(xiàng)目建設(shè)周期
10.3.5　項(xiàng)目投資概算
10.3.6　項(xiàng)目環(huán)保措施
10.4　金宏氣體集成電路用高純氣體項(xiàng)目
10.4.1　項(xiàng)目基本情況
10.4.2　項(xiàng)目投資背景
10.4.3　項(xiàng)目建設(shè)方案
10.4.4　主要設(shè)備配置
10.4.5　項(xiàng)目物料及能源供應(yīng)
10.4.6　項(xiàng)目環(huán)境影響及設(shè)施
10.4.7　項(xiàng)目組織方式和實(shí)施進(jìn)展
10.4.8　項(xiàng)目投資概算及財(cái)務(wù)評(píng)價(jià)

11.1　中國電子特氣行業(yè)未來發(fā)展趨勢(shì)
11.1.1　行業(yè)發(fā)展機(jī)遇
11.1.2　行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)
11.1.3　國產(chǎn)替代趨勢(shì)
11.2　 2022-2027年中國電子特氣行業(yè)預(yù)測(cè)分析
11.2.1　2022-2027年中國電子特氣行業(yè)影響因素分析
11.2.2　2022-2027年中國電子特氣市場(chǎng)規(guī)模預(yù)測(cè)

圖表　不同線寬下對(duì)應(yīng)特氣所含顆粒雜質(zhì)要求
圖表　三種分離方法比較
圖表　化學(xué)氣相沉積工藝中電子氣體的使用流程
圖表　光刻工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕機(jī)中輝光放電原理
圖表　離子注入工藝流程
圖表　離子注入機(jī)之磁分析器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖
圖表　離子注入機(jī)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖
圖表　電子氣體純度要求
圖表　氣體純化工藝流程圖
圖表　氣體合成工藝流程圖（以高純氫為例）
圖表　空氣分離工藝流程圖資
圖表　氣體充裝工藝流程圖
圖表　氣體混配工藝流程圖
圖表　氣體檢驗(yàn)工藝流程圖
圖表　氣瓶處理工藝流程圖
圖表　全球電子氣體市場(chǎng)規(guī)模
圖表　2020全球電子氣體細(xì)分市場(chǎng)格局
圖表　2019年全球電子特氣市場(chǎng)格局
圖表　全球電子特種氣體知名企業(yè)
圖表　2019年全球各公司特氣業(yè)務(wù)營收
圖表　海外電子氣體產(chǎn)業(yè)鏈
圖表　2019年全球電子特氣行業(yè)下游應(yīng)用結(jié)構(gòu)
圖表　海外電子特氣廠商產(chǎn)品技術(shù)情況
圖表　日本主要電子特氣需求量及增速
圖表　工業(yè)氣體龍頭的發(fā)展路徑
圖表　林德集團(tuán)的收購事件
圖表　空氣化工的技術(shù)、產(chǎn)品和市場(chǎng)
圖表　2015-2019年國內(nèi)生產(chǎn)總值及其增長速度
圖表　2015-2019年三次產(chǎn)業(yè)增加值占國內(nèi)生產(chǎn)總值比重
圖表　2015-2019年萬元國內(nèi)生產(chǎn)總值能耗降低率
圖表　2016-2020年國內(nèi)生產(chǎn)總值及其增長速度
圖表　2016-2020年三次產(chǎn)業(yè)增加值占國內(nèi)生產(chǎn)總值比重
圖表　2021年GDP初步核算數(shù)據(jù)
圖表　2019年各月累計(jì)營業(yè)收入與利潤總額同比增速
圖表　2019年規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)主要財(cái)務(wù)指標(biāo)（分行業(yè)）
圖表　2016-2020年全部工業(yè)增加值及增長速度