2024中國半導(dǎo)體設(shè)備上市企業(yè)全方位對比分析（企業(yè)分布、經(jīng)營情況、業(yè)務(wù)布局等）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2024-08-09 15:49
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中商情報網(wǎng)訊：近年來，國外出臺的出口新政將對中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來很大的影響，但同時也帶來了前所未有的機遇，將不斷促進本國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。

一、中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市企業(yè)整體情況

半導(dǎo)體設(shè)備上游為零部件及系統(tǒng)供應(yīng)環(huán)節(jié)，中游為半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)。

零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、反應(yīng)腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發(fā)生器、機械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng)；各類半導(dǎo)體設(shè)備，主要包括光刻機、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、CMP設(shè)備、熱處理設(shè)備等。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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