2024年中國電子特氣行業(yè)市場前景預(yù)測研究報(bào)告（簡版）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2023-11-22 16:41
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中商情報(bào)網(wǎng)訊：電子特氣有著芯片加工之“糧食”的稱號，主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏電池領(lǐng)域，貫穿晶圓加工的制備外延片、清洗、沉積和氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜各環(huán)節(jié)。當(dāng)前，電子特氣國產(chǎn)替代空間廣闊，國內(nèi)電子特氣龍頭或?qū)⑹芤嬗谙掠涡枨蠡嘏蛧a(chǎn)化率的提升。

一、電子特氣定義

電子特氣指的是工業(yè)氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統(tǒng)工業(yè)氣體在純度和用途上有所區(qū)分。特種氣體的生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，流程較為復(fù)雜。

電子特種氣體是指應(yīng)用于電子行業(yè)的氣體，其質(zhì)量直接影響電子器件的成品率和性能。目前半導(dǎo)體行業(yè)各個(gè)環(huán)節(jié)使用的特種氣體有114種，常用的有44種。主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，一般采用液態(tài)與瓶裝氣體生產(chǎn)模式，廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié)。電子特氣主要產(chǎn)品類別如下：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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