2021年刻蝕機(jī)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上中下游市場分析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-06-29 15:19
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中商情報(bào)網(wǎng)訊：刻蝕機(jī)是芯片制造過程中的核心設(shè)備之一，刻蝕是利用化學(xué)或者物理的方法將晶圓表面附著的不必要的材質(zhì)進(jìn)行去除的過程。在刻蝕機(jī)中，閃電、極光也都是等離子體會(huì)轟擊在晶圓表面，將原子直接打出，或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)與晶圓上的材料形成新的化合物揮發(fā)，實(shí)現(xiàn)刻蝕。

一、產(chǎn)業(yè)鏈

刻蝕機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為刻蝕機(jī)的四大組成部分，主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)；中游為刻蝕機(jī)的制造，刻蝕技術(shù)主要有兩種，傳統(tǒng)濕法刻蝕技術(shù)及現(xiàn)代干法刻蝕技術(shù)；下游為刻蝕機(jī)的應(yīng)用，主要用來制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池及其他微機(jī)械制造。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院

二、上游分析

刻蝕機(jī)主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。具體如下圖所示：

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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