2021年中國(guó)晶圓產(chǎn)業(yè)鏈上中下游市場(chǎng)剖析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-06-22 17:24
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2.電子氣體

電子特氣是指在半導(dǎo)體芯片制備過(guò)程中需要使用到的各種特種氣體，按照氣體的化學(xué)成分可以分為通用氣體和特種氣體。其中電子特種氣體又可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、蝕刻用氣、化學(xué)汽相沉淀用氣、載運(yùn)和稀釋氣體等幾大類，種類繁多，在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種電子氣體，常用的有20-30種。

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3.制造設(shè)備

數(shù)據(jù)顯示，各晶圓制造設(shè)備中以光刻機(jī)、刻蝕機(jī)和薄膜沉積設(shè)備的產(chǎn)值最大，生產(chǎn)難度也最高。光刻機(jī)占比達(dá)30%，CVD設(shè)備占比達(dá)20%，刻蝕設(shè)備及PVD設(shè)備占比均達(dá)12%。

數(shù)據(jù)來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

下圖為全球晶圓制造設(shè)備相關(guān)企業(yè)匯總一覽表：

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