2021年中國光刻機行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上中下游市場分析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-03-23 16:59
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4.重點企業(yè)分析

全球光刻機市場主要由荷蘭的ASML、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家占據(jù)。如今雖然ASML正逐漸解除對華產(chǎn)品的禁售，但EUV這類的頂尖光刻機由于產(chǎn)能有限。上海微電子深耕光刻機產(chǎn)品研發(fā)，承擔多項專項科研任務。目前公司光刻機產(chǎn)品主要包括IC前道光刻機、IC后道封裝光刻機、面板前道光刻機、面板后道封裝光刻機。作為國內(nèi)光刻機設備領域的領航者，上海微電子承擔著國產(chǎn)光刻機設備的希望，若能實現(xiàn)光刻機設備的國產(chǎn)化，中國大力發(fā)展的半導體產(chǎn)業(yè)必將邁上一個新臺階。

資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

四、下游分析

國內(nèi)光刻機市場，除了應用于IC前道的光刻機在不斷的發(fā)展之外，封裝光刻機以及LED/MEMS/功率器件光刻機的市場也不斷的發(fā)展壯大中。其中后面兩者國產(chǎn)化率較高。

1.晶圓制造

生產(chǎn)集成電路的簡單步驟為：利用模版去除晶圓表面的保護膜。將晶圓浸泡在腐化劑中，失去保護膜的部分被腐蝕掉后形成電路。用純水洗凈殘留在晶圓表面的雜質(zhì)。晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，一片晶圓可以制作數(shù)十個集成電路。數(shù)據(jù)顯示，2016年中國晶圓制造行業(yè)市場規(guī)模突破1000億元，到2019年，中國晶圓制造行業(yè)市場規(guī)模超過2000億元，達到2149.1億元。預計2021年，我國晶圓制造行業(yè)市場規(guī)模或達到2941.4億元。

數(shù)據(jù)來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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